热式质量流量计
热式质量流量计（Theermal Mass flowmeters,简称TMF）在国内习惯称为热式流量计，是利用流体流过外热源加热的管道时产生的温度场变化来测量流体质量流量，或利用加热流体时流体温度上升某一值所需的能量与流体质量之间的关系来测量流体质量的一种流量仪表。一般用来测量气体的质量流量。具有压损低；流量范围度大；高精度、高重复性和高可靠性；无可动部件以及可用于极低气体流量监测和控制等特点。
1.托马斯流量计
2. 浸入型热式质量流量计
浸入型TMF是在原来热线接触式流量计的基础上发展起来的一种坚固型热式质量流量计，它解决了接触式TMF在结构上的缺陷，采用适用于工业应用的坚固的高可靠性传感器，近二十多年来得到了很快的发展。
① 浸入型热式质量流量计原理
② 浸入型热式质量流量的分类
③ 浸入型热式质量流量计的特点
3.热分布型热式质量流量计
从图6-14的曲线可知，浸入型TMF工作在曲线的后半段，质量流量与温差ΔT成反比，不能用来测量微小流量。热分布型TMF是近二十多年来发展起来的测量微小气体流量的仪表。它工作在图6-14曲线的前半段，在一定的流量范围内，质量流量与温差ΔT成正比，广泛应用于半导体制备、石油化工、冶金、制药、原子能等工业中微小气体流量测量。

① 热分布型热式质量流量计的原理
②热分布型热式质量流量计的结构与分类
③ 热分布型热式质量流量计的特点
A.热分布型热式质量流量计的优点
B.热分布型热式质量流量计的缺点
④ 热分布型热式质量流量计的使用

4.边界层流量计
① 边界层流量计测量原理
② 边界层流量计存在的问题
上述可知，边界层流量计在保持管内流动边界层内外温差ΔT为常数时，质量流量与加热量之间存在一定对应关系。但这样的关系直接受流体的热导率、比热容、粘度等参数的影响。但由于流体温度或组成的变化，流体的这些参数也将发生变化，并且直接对测量造成误差。
在流体是气体的情况下，普朗特参数几乎不受流体组成变化的影响，因此，由组成变化造成的误差可以忽略不计。
在流体是液体的情况下，由流体组成变化对测量造成的影响与流动状态有关。紊流流动时，比热容变化5%将会造成流量2%的测量误差，但如果cp与η的变化相互抵消的话，流量测量的整体误差可以消除。热导率受组成变化的影响一般较小。